میکروسکوپ های روبشی ، نوعی میکروسکوپ الکترونی (میکروسکوپی که توسط باریکه ای الکترونی برای تصویر سازی بهره می برند ) بوده و قابلیتی شگرف در بزرگنمایی و تفکیک تصاویر (توانایی یک سیستم برای متمایزسازی جزئیات یک کمیت سنجشی ) دارند .
در این نوع میکروسکوپ ها ، توسط تفنگ های الکترونی ، ستونی از الکترون تشکیل می شود . با افزایش تعداد الکترون ها ، ثبات سرعتی الکترون ها و همچنین کاهش قطر ستون تشکیل شده ، مطلوبیت ستون تشکیل شده زیاد می شود . پس از تشکیل ستون ، با استفاده از میدانی الکتریکی و شتابدار کردن آن ها ، لنز های الکترومغناطیسی شعاع آن را کوچک می کنند . پس از اعمال شرایط فوق ، این ستون ها با نقاط مورد نظر جسم برخورد می کنند و بازتاب آن ها توسط حسگرهایی خاص ثبت و تحلیل می شود . در قدم بعد ، ستون بازتابی با تغییر جایگاه ، نقطه مجاور را مورد تابش قرار می دهد و این کار تا پوشش تمام سطح ۲ بعدی با سرعت بالا انجام می پذیرد . با تکرار این عمل که مانند جاروب کردن سطح مورد نظر است ، تصویر سطح اسکن شده و ترکیب نمونه در لایه های سطحی را بیان می کند .
اجزای اصلی میکروسکوپ الکترونی روبشی تفنگ الکترونی ، لنز ها ، سیستم روبش ، سیستم خلا ، سیستم نمایش و … می باشند . اولین و اصلی ترین رکن یک میکروسکوپالکترونی روبشی تفنگ الکترونی آن که منبع پایداری از الکترون ساطع کننده پرتو الکترونیست و وظیفه تنظیم شدت قطر پرتو الکترونی ، یکنواختی ، شدت و توزیع الکترون ها را بر عهده دارد . این تفنگ ها در دو دسته اصلی تفنگهای الکترونی ترمویونی و تفنگهای انتشار میدانی وجود دارند که در نوع اول ، کاتد تولید کننده الکترون، یک سیم تنگستنی بوده که به دلیل کار پایین ، عمر زیاد و مقاومت بالای آن در برابر حرارت و جریان الکتریسیته ، وی شکل بودن و شعاع سر آن (حدود ۱۰۰ میکرومتر) توانایی عبور جریا تا ۲۷۰۰ درجه سانتی گراد را دارد . در این مدل ، الکترون های تولید شده در کاتد توسط اختلاف پتانسیلی معادل ۱۰۰۰ تا ۵۰۰۰۰ ولت به سمت آند شتاب گرفته و با عبور از سوراخ میانی به سمت ستون اپتیکی میکروسکوپ و در نهایت نمونه فرستاده می‌شوند . در مدل دوم یا تفنگهای انتشار میدانی نیز قدرت ، دقت و هزینه ساخت بالاتر رفته و ساختار به مراتب پیچیده تری داریم . نوک بسیار تیز ۰٫۲ میکرومتری و تنگستنی آن ها پرتوی بسیار باریک ساطع می کند که این عمل باعث افزایش ظرافت و دقت خروجی می شود . در این تفنگ ۲ کاتد وجود دارد که اولی وظیفه جدا کردن الکترونها و دومی برای سرعت دادن به الکترون ها و شلیک به سمت ستون اپتیک بکار می روند . با عنایت به اختلاف انرژی کمتر الکترون ها ، پرتو تولیدی از کیفیت بالاتری برخوردار بوده که در نتیجه به خطاهای کمتر و تصاویر بهتر و شفافتر منجر خواهد شد .
از مهمترین ویژگی های میکروسکوپ الکترونی روبشی می توان به استفاده در متالوگرافی ، بررسی مقاطع شکست و سطوحی که نیازمند عمق میدان زیادند و ارزیابی ترکیبات شیمیایی روی سطوح مختلف اشاره کرد .